低溫等離子體催化技術是近年來興起的一張治理廢氣的可行方法，與傳統方法和工藝相比，具有投資和運行費用較低、處理效率較高的、處理時間較短和易于控制的優點。研究表明，利用等離子體技術處理大氣污染的應用前景廣闊。

近年來的研究初步表明，橫瀝紫外光催化氧化它在治理空氣污染物的。低溫等離子+復合光催化工業廢氣凈化器”機組在近些年來已在多家國家大型化學、醫藥等企業的生產線上，長期持續地正常工作，企石紫外光催化氧化顯示出其治理大流量工業復雜有機廢氣凈化方面，石碣紫外光催化氧化比其它傳統技術具有更安全有效的降解效果。

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